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氧氣、水蒸氣以及油蒸氣最容易對真空計產(chǎn)生影響。這3種常見的氣體會對真空計具體會造成什么影響呢？下面我們一起來了解一下吧！

一、氧氣對真空計的影響

氧氣可以用麥?zhǔn)险婵沼嬤M行測量，但是當(dāng)氧分壓過高時，會使水銀表面發(fā)生氧化，影響水銀的表面張力，使水銀在毛細管中移動時位置不準(zhǔn)確，造成測量誤差。

普通熱傳導(dǎo)（電阻）真空計的燈絲在高溫下會氧化，從而改變熱絲的表面狀態(tài)，引起規(guī)管零點漂移和靈敏度的改變，應(yīng)采用抗氧化熱絲的規(guī)管。熱陰極電離規(guī)燈絲也極易氧化，使其壽命縮短。

如前文所說，對氧分壓較高的氣體環(huán)境，在粗低真空范圍內(nèi)可用薄膜真空計進行測量；高真空時則可使用輻射真空計和冷陰極規(guī)管。

二、水蒸氣對真空計的影響

水蒸氣是可凝性氣體，壓縮式真空計測量時要壓縮被測氣體，這會使水蒸氣凝結(jié)。因此在一般情況下不能使用壓縮式真空計對水蒸氣進行測量。它對熱傳導(dǎo)真空計的影響與氧氣一樣，同樣會使規(guī)管零點漂移和靈敏度發(fā)生變化。

通常情況下，對水蒸氣的測量可采用U形壓力計和薄膜規(guī)、輻射真空計、粘滯規(guī)、克努曾真空計等；冷陰極規(guī)管不會發(fā)生氧化問題，也可以用于水蒸氣分壓高的真空系統(tǒng)的測量。

電阻真空計和鎢陰極熱陰極電離計規(guī)管燈絲的材料為鎢，鎢絲溫度較高，高溫?zé)艚z與水蒸氣發(fā)生氧化作用，水蒸氣會被高溫鎢表面分解并與鎢反應(yīng)生成氧化鎢和原子態(tài)氫，氧化鎢蒸發(fā)后便附著在規(guī)管玻壁上。原子態(tài)氫則從管壁上的氧化鎢中奪取氧再變成水蒸氣。這樣循環(huán)下去，水蒸氣就起著運輸鎢的作用。致使鎢陰極不斷的蒸發(fā)，使燈絲迅速損壞。特別是水蒸氣分壓大于10-2Pa時，規(guī)管的壽命很短，因此不適合用于測量水蒸氣。

三、油蒸氣對真空計的影響

在采用有油的抽氣系統(tǒng)（機械泵、油擴散泵）抽氣時，系統(tǒng)中存在大量的有機油蒸氣及其分裂物。它們的蒸氣壓都比較低，因此不能用壓縮式真空計進行測量。如用壓縮式真空計測量機械泵的極限真空度時，要比用熱傳導(dǎo)真空計測得的數(shù)據(jù)高一個數(shù)量級。用油U型壓力計測量油蒸氣時，因工作油可以溶解油蒸氣，所以也不能得到正確的指示。

用熱傳導(dǎo)真空計或電離真空計測量油蒸氣時，會因油蒸氣污染燈絲或在高溫陰極上分解生成碳氫化合物，嚴重的污染電極和管壁，使熱傳導(dǎo)情況改變，而使規(guī)管的靈敏度和特性發(fā)生明顯的變化，造成測量誤差。

因此，在油蒸汽分壓高的系統(tǒng)中，低真空時建議用薄膜真空計測量；高真空時則可使用輻射真空計進行測量。